| 姓名 | 闫鹏 | 性别 | 男 |                                  | 
  
   | 出生年月 | 1975.01 
 | 行政职务 | 
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   | 学历 | 博士研究生 | 学位 | 博士 | 
  
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       | 专业技术职务及任导师情况 | 教授,博士研究生导师 |  
       | 所在一级学科名称 | 机械工程 |  
       | 所在二级学科名称 | 机械电子工程 |  | 
 
 
学术身份
国家级高层次人才,国家海外高层次青年人才,山东大学杰出中青年学者
学术兼职
美国电子电气工程师学会(IEEE)高级会员,全国产品几何技术规范标准化技术委员会委员,国际SCI期刊《IEEE/ASME Transactions on Mechatronics》编委,《Mechanical Sciences》编委, 中国工程院院刊《Engineering》青年通讯专家,第21届国际机电一体化与嵌入式系统及应用会议(IEEE/ASME MESA)大会主席,山东大学微纳测控技术与智能精密仪器研究中心主任等  
  
 
国内外学习和工作经历
2011.11-至今     山东大学机械工程学院,教授,博士导师
2010.09-2011.11   美国联合技术公司研究中心(UTRC),主任科学家
 
2005.06-2010.09   美国希捷科技公司(Seagate Technology),资深技术专家
 
2004.01-2005.05   美国俄亥俄州立大学,博士后
 
1999.08-2003.12   美国俄亥俄州立大学,获博士学位
 
1997.09-1999.06   东南大学,获硕士学位
 
1993.09-1997.06   东南大学,获学士学位  
  
主讲课程
本科:控制工程基础、制造系统的感知与决策
研究生:Digital Control System Analysis and Design、专业英语翻译与写作
 
研究领域
1.微/纳米精密机电系统的设计与控制
 
2.微纳仿生与智能系统设计
 
3.面向集成电路制造的精密光机系统设计与测控技术  
  
承担主要科研项目
1.国家自然科学基金联合基金重点项目“面向高通量大幅面激光直写的跨尺度微纳伺服控制与动态协同方法”,项目负责人,2025.1-2028.12,在研;
 
2.国家自然科学基金重点项目“宏-微-纳跨尺度高平稳快速机器人化纳米操控理论与实现方法”,合作单位负责人,2025.1-2029.12,在研;
 
3.山东省重点研发计划(竞争性创新平台)“面向微纳制造的精密光机伺服系统关键技术研发及纳米测控成套装备产业化”,项目负责人,2023.1-2025.12,在研;
 
4.山东省重大基础研究计划“面向超精密制造装备的直驱式智能伺服理论与集成技术研究”,项目负责人,2019.1-2024.12,已完成;
 
5.国家自然科学基金面上项目“面向大范围动态扫描的纳米平台动力学机理与控制方法研究”,项目负责人,2018.1-2021.12,已完成;
 
6.科技部重大科学仪器专项“高精度纳米位移平台的开发与应用:纳米伺服控制算法开发及驱动器设计优化”,课题负责人,2017.1-2019.12,已完成;
 
7.国家自然基金仪器专项“面向量子功能器件制备的直写式真空蒸发系统”,项目负责人,2014.1-2017.12,已完成;
 
8.工程研制任务“压电陶瓷类快反镜闭环控制技术验证”,项目负责人,2024.11-2026.05,在研;
 
9.工程研制任务“上海光源线站工程超高真空低温纳米样品台系统”,项目负责人,2020.12- 2024.11,已完成;
 
10.工程研制任务“面向自由电子激光用超高精度跨尺度角度台”,项目负责人,2023.04 - 2024.08,已完成。  
  
 
代表性论文
1. Ma X, Wang Z, Zhang W, Yan P. Programmable metamaterials with perforated shell group supporting versatile information processing[J]. Advanced Science, 2025.
 
2. Meng L, Yan P, Liu P. A high-speed inchworm piezoelectric actuator with multi-layer flexible clamping: Design, modeling, and experiments[J]. Mechanical Systems and Signal Processing, 2024, 218: 111558.
 
3. Zhang Z, Yan P. Infinite dimensional design approach of robust disturbance observer for a piezo-actuated nano-positioner with measurement delays[J]. IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, 2024, 28:3583-3588.
 
4.Yang J, Yan P. Design and analysis of a symmetric over constrained compliant tilt/tip stage based on a hybrid transmission ratio model[J]. Journal of Mechanisms and Robotics, 2024, 16: 071017
 
5. Wang H, Duan W, Yan P, et al. Engineered sandwich-structured composite wound dressings with unidirectional drainage and anti-adhesion supporting accelerated wound healing[J]. Advanced Healthcare Materials, 2023,12: 2202685.
 
6. Zhang Q, Yan P. A curved-beam based quasi-constant force mechanism supporting large range and force-sensitive robotic manipulation[J]. Mechanism and Machine Theory, 2022, 172: 104799
 
7.Lu S, Tian C, Yan P. Adaptive extended state observer-based synergetic control for a long-stroke compliant microstage with stress stiffening[J]. IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, 2020, 25: 259 - 270.
 
8. Yan P, Liu P, Ozbay H. Predictive anti-windup compensation for repetitive control supporting nanoscanning[J]. IEEE Transactions on Control Systems Technology, 2020, 29, 1807-1814.
 
9. Wang Y, Yan P. A novel bidirectional complementary-type inchworm actuator with parasitic motion based clamping[J]. Mechanical Systems and Signal Processing, 2019, 134: 106360.
 
10.Liu P, Yan P. Robust antiwindup compensation for high-precision tracking of a piezoelectric nanostage[J]. IEEE Transactions on Industrial Electronics, 2016, 63: 6460-6470.  
  
发明专利
授权中国发明专利60余项,美国发明专利4项,实现专利成果转化20余项。
教学成果
 1.2024年山东省大学生创新大赛金奖指导教师
 
 2.2023年山东省研究生优质课程《Digital Control System Analysis and Design》
 
 3.2021年山东省优秀硕士论文指导教师
 
 4.2020年山东省“互联网+”大学生创新创业大赛银奖指导教师
 
 5.2019年山东省优秀博士论文指导教师    
  
联系方式
单位:山东大学机械工程学院
 
地址:济南市经十路17923号         
邮编:250061
 
E-mail:yanpeng@sdu.edu.cn